D700WR 系列

寬范圍壓不敏感質(zhì)量流量模塊

D700WR 安裝了一個(gè)新的限流器，專(zhuān)為大范圍控制應用而設計，具有基于 CRITERION? 技術(shù)的高精度性能。D700WR 可以將流量控制在滿(mǎn)量程的 0.1% 以下，這有助于用戶(hù)優(yōu)化氣體輸送系統的靈活性。例如，如果系統安裝了多個(gè) MFC 進(jìn)行高流量和低流量控制，則用戶(hù)可以減少 MFC 的數量，并將同一位置的另一個(gè) MFC 用于不同的目的。

• 0.1~100%寬范圍控制和低流量的高精度

  • 為流程優(yōu)化提供靈活性

• ≤ 500ms 升壓響應

  • 提供高生產(chǎn)率和更好的過(guò)程性能

• 零故障堅固的 CIP 壓力傳感器

  • 減少大批量生產(chǎn)中的停機時(shí)間和人工成本

• PFA 噴嘴的閥門(mén)關(guān)閉和抗腐蝕性提高 10 倍

  • 堅固耐用，顆粒風(fēng)險更低，減少停機時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量

• 狀態(tài)監控器功能

  • 提供更多內部數據，實(shí)現更智能的故障預測