D700T 系列

最佳性能壓敏質(zhì)量流量模塊

D700T 是專(zhuān)為關(guān)鍵半導體制造工藝設計的最佳性能壓力不敏感質(zhì)量流量模塊。D700T 采用了 HORIBA CRITERION 基于壓力的流量測量和控制技術(shù)，以提供行業(yè)領(lǐng)先的可重復和準確的性能。此外，D700T 的獨特之處在于利用了具有雙閥結構的專(zhuān)利高級流量控制算法，使客戶(hù)的氣體輸送系統能夠解決多種挑戰。

• ≤ 100 毫秒的全面快速建立時(shí)間（設置為 Set、Step up 和 Step down）
• 入口和出口壓力不敏感的性能
• 先進(jìn)的故障檢測功能，用于診斷壓力傳感器偏移、閥座泄漏和流量精度變化
• 重復性在 0.15 %S.P. 以?xún)?/li>
• 最佳精度規格在 0.45 %S.P.* 以?xún)龋藴剩?.8 %S.P.）
• 更寬的工作溫度范圍 （15-60 °C）