D700uF

微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

D700uF（Micro Flow） 專(zhuān)為 ≤ 5SCCM 流量應用而設計。
≤ 5SCCM 流量控制在高縱橫比工藝中一直非常關(guān)鍵。
專(zhuān)用組件和新開(kāi)發(fā)的內部低流量標準可實(shí)現低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。

• 低至 0.025SCCM 的流量控制能力
  • 精確的調諧氣體控制，增強工藝可調性
• ≤ 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制
  • 提供高生產(chǎn)率和更好的過(guò)程性能
• 內部流量計量
  • 所有制造產(chǎn)品的性能可靠
• 狀態(tài)監控功能
  • 提供更多內部數據，實(shí)現更智能的故障預測
• PFA 噴嘴具有更好的閥門(mén)關(guān)閉和耐腐蝕性
  • 堅固耐用，顆粒風(fēng)險更低，減少停機時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量