D700 MG

高速和精密壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

關(guān)鍵的半導體制造工藝不斷需要精密的氣體流量控制器件，這些器件既能實(shí)現未來(lái)的創(chuàng )新，又能實(shí)現前沿存儲器和邏輯器件從實(shí)驗室到晶圓廠(chǎng)的過(guò)渡。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG，這是 D500MG 的上部兼容型號，以支持客戶(hù)的挑戰。

• 機上氣體和滿(mǎn)量程配置更改 *僅限 EtherCAT

  • 為流程優(yōu)化提供靈活性

• 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制

  • 提供高生產(chǎn)率和更好的過(guò)程性能

• 用于小流速的 MRMG 功能 （Bin101 – Bin105）

  • 為需要小流速的工藝提供靈活性

• PFA 噴嘴具有更好的閥門(mén)關(guān)閉和耐腐蝕性

  • 堅固耐用，顆粒風(fēng)險更低，減少停機時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量

• 狀態(tài)監控器功能