SEC-Z700X 系列

壓力不敏感質(zhì)量流量控制器

SEC-Z700X 系列配備了可靠的熱傳感器和壓力不敏感功能，可實(shí)現穩定的流量控制。機載壓力測量降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。

壓敏
新的高性能功能提供了簡(jiǎn)化的供氣系統。典型的多室氣體管路具有管路調節器、壓力傳感器和過(guò)濾器，以避免由壓力波動(dòng)引起的質(zhì)量流量控制器串擾現象。SEC-Z700X 系列具有高穩定性，可在不影響上游和下游壓力波動(dòng)的情況下控制氣體流量。提供流量輸出、溫度和壓力讀數。

• 多氣體/多量程功能
  氣體類(lèi)型和滿(mǎn)量程流量可由客戶(hù)更改
• 可變 PID 功能可在整個(gè)流量范圍內提供高速響應（1 秒內）
• 緊湊的氣體管路
  無(wú)需調節器、傳感器和過(guò)濾器
• 穩定控制氣體流量，不受上游和下游壓力波動(dòng)的影響
• 集成入口壓力傳感器
• 板載多顯示器
• 保修 1% 設定點(diǎn)高精度
• 超潔凈設計 - 金屬隔膜，全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標準）。
• 尺寸緊湊
  接頭尺寸相同，最大 50 SLM
• 信號兼容性
  模擬/RS485 數字型號 ， DeviceNet? 型號
• 網(wǎng)絡(luò )功能
  由數字信號控制。