SEC-Z500X 系列

多量程/多氣體數字質(zhì)量流量控制器

這是 HORIBA 最暢銷(xiāo)的數字質(zhì)量流量控制器型號。它具有多量程/多氣體功能，使用戶(hù)能夠在現場(chǎng)快速輕松地更改氣體類(lèi)型或滿(mǎn)量程流量。
該質(zhì)量流量控制器具有高精度 +/- 1.0% S.P、壓電執行器閥、高速響應和全金屬，適用于提高工藝產(chǎn)量和簡(jiǎn)化零件管理。數字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT? 通信均可用。

• 高精度 ±1.0% S.P.
  該質(zhì)量流量控制器的線(xiàn)性度由多項式近似曲線(xiàn)補償，并在所有流量控制范圍內實(shí)現高精度。為了提高實(shí)際氣體精度，各種工藝氣體的校準數據由 HORIBA STEC 的標準氣體測量系統測量。
• 高速響應
  安裝“可變 PID 系統”，可實(shí)現任意兩個(gè)設定點(diǎn)之間的 1 秒響應?？勺?PID 根據流點(diǎn)設置不斷變化。這允許在滿(mǎn)量程流量和氣體發(fā)生變化時(shí)優(yōu)化 PID 因子。
• 多氣體/多量程解決方案
  配置軟件可以快速輕松地更改規格。一個(gè)關(guān)鍵功能是可以在不從燃氣面板或管道上拆下質(zhì)量流量控制器的情況下進(jìn)行更改。這減少了所需的備用質(zhì)量流量控制器的數量;節省時(shí)間和成本。

質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X 適用于各種應用以及半導體制造。