SEC-E 系列
質(zhì)量流量控制器
這款通用質(zhì)量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥,可讓您實(shí)現對氣體流量的高級控制。質(zhì)量流量控制器 sec-e 系列是一種多功能元件,可用于廣泛的行業(yè)。
通過(guò)質(zhì)量流量控制器的氣體流量可以在一系列流量?jì)冗M(jìn)行控制:從 10 SCCM 到 200 SLM。
- 配備可靠的熱傳感器和電磁閥
- 流量控制范圍廣:從 10 SCCM 到 200 SLM (N2)
- 適用于廣泛的應用
- 集成到各種制造系統中,包括:LCD、光伏電池、功率半導體、涂層
- 一般工業(yè):燃燒器氣體控制、大氣氣體控制、混合氣體的產(chǎn)生、通風(fēng)量的測量
- 研發(fā):各種氣體傳感器和燃燒器的性能評估設備;生物技術(shù)相關(guān)評估
- 實(shí)驗室:用于各種實(shí)驗的氣體流量控制器、采樣氣體等。