EC-5000 系列

排氣壓力控制器

EC-5000 系列排氣壓力控制器可以在腔室內保持一致的壓力，由用戶(hù)選擇。高分辨率步進(jìn)電機和獨特的蝶閥確保對任何壓力變化做出快速、靈敏的響應。

• 適用于高真空：不銹鋼機身
• 耐腐蝕：還提供帶 PTFE 主體的型號
• 符合 RoHS 標準。

當排氣流量調整到最佳水平時(shí)：

• 光刻膠分布在均勻的薄膜中
• 防止油霧的二次沉積
• 防止危險蒸氣的擴散。

與流量傳感器控制相比，由于光刻膠和其他污染的積累引起的靈敏度變化較小，并且消除了湍流和其他噪聲的影響，從而實(shí)現了卓越、穩定、響應性的控制。