GR-511F 系列
晶圓背面冷卻系統
GR-511F 可以控制用于冷卻由靜電吸盤(pán)系統固定到位的晶圓背面的氣體。
GR-511F 的穩定性和準確性使其成為控制晶圓冷卻系統中氦氣和氬氣流量的理想選擇。
- 壓力控制更穩定、更準確
- 質(zhì)量流量傳感器 （可選）
- 適用于各種配件
- 符合 RoHS 標準
應用示例
在下面的示例中，GR-511F 控制用于冷卻由靜電吸盤(pán)系統固定到位的晶圓背面的氣體。
控制器 HORIBA HORIBA 壓力控制 GR-511F 系列 晶圓背面冷卻系統
價(jià) 格：
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- 品牌名稱(chēng)：HORIBA
- 商品型號：GR-511F
- 訂貨編碼：MHORIBA05162505-1748587473
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