微極系統 QL 系列

四極桿質(zhì)量分析儀

MICROPOLE 系統是最小的質(zhì)譜系統之一，易于安裝。該系統已被證明是許多腔室表征應用的理想解決方案。緊湊的尺寸是通過(guò)微型陣列四極桿質(zhì)量過(guò)濾器的專(zhuān)利設計實(shí)現的。該系統能夠在比傳統系統高得多的壓力下運行，因此減少了對額外差壓泵設備的需求。

• 極其緊湊的尺寸和輕量化
  的 1/20th與傳統的殘余氣體分析儀相比，尺寸小，易于集成到任何系統中

• 由 9 個(gè)四極桿組成的高性能
  微型陣列提供出色的靈敏度，而體積僅為傳統四極桿的一小部分

• 高壓作
  可在高達 0.9Pa （7mTorr， 9 x 10-3mbar），從而減少或消除許多應用中昂貴的真空抽氣

• 校準
  中的可互換傳感器頭 傳感器頭在發(fā)貨前經(jīng)過(guò)預調諧和校準，允許用戶(hù)在現場(chǎng)更換傳感器，而無(wú)需微調或技術(shù)專(zhuān)業(yè)知識

• 網(wǎng)絡(luò )傳感器
  使用 RS-485 的一臺 PC 最多可以監控 8 個(gè)傳感器。還可以通過(guò)外部 I/O 進(jìn)行無(wú) PC 的掃描作。

• 用戶(hù)友好的軟件
  Micropole Scanner? 2 軟件允許用戶(hù)以各種模式監測氣體的分壓，例如趨勢圖、光譜圖、條形圖。

測量原理

四極桿質(zhì)量分析儀由離子源、質(zhì)量離子檢測器組成。殘余氣體與高溫細絲釋放的熱電子碰撞時(shí)被電離，由此產(chǎn)生的離子加速并匯聚到質(zhì)量過(guò)濾器上。在質(zhì)量過(guò)濾器上，將不同的直流電和 RF 施加到電極（四極桿）上，從而允許離子按質(zhì)量分離。分離的離子被法拉第杯檢測為電流。離子電流與殘余氣體的分壓成正比。

微極TM分析器

使四極桿質(zhì)量分析儀獨一無(wú)二的功能是 MICROPOLETM分析器 （MPA）;由九個(gè)四極桿組成的組合，充分利用了超精密光學(xué)蝕刻加工技術(shù)和玻璃/金屬接合技術(shù)。MPA 的開(kāi)發(fā)催生了四極桿質(zhì)量分析儀，這是世界上最小的殘余氣體分析儀，同時(shí)提供與傳統的大型質(zhì)譜儀相同或更好的靈敏度。分析器是一個(gè)插件單元。它采用的傳感器單元已針對分壓進(jìn)行了校準，并提供絕對總壓和分壓測量。

應用

腔室狀態(tài)監測

Microople System QL 系列由于其緊湊性而長(cháng)期用于測量殘留氣體。在金屬濺射工藝中，必須降低氧基氣體的分壓，以避免濺射金屬氧化。一旦腔室暴露在空氣中進(jìn)行維護，需要時(shí)間來(lái)減少殘留氣體，四極桿質(zhì)量分析儀適用于檢查腔室狀況。

 

等離子體過(guò)程監測

四極桿質(zhì)量分析儀具有一種用于等離子體過(guò)程的原位過(guò)程監測技術(shù)，包括蝕刻、濺射和干洗。在通過(guò)反應濺射沉積透明導電氧化物薄膜的過(guò)程中，氧基氣體的控制對于透明度和導電性都至關(guān)重要。近年來(lái)，半導體工藝的復雜性需要額外的工藝監控工具，以縮短設備啟動(dòng)時(shí)間并檢測工藝異常。