IR-300 型
蒸汽濃度監測儀
金屬有機化學(xué)氣相沉積 （MOCVD） 工藝廣泛用于制造 LED、光學(xué)器件和其他組件。通過(guò)控制溫度、壓力和載氣流速（鼓泡方法），液體和固體前驅體被輸送到反應室。在線(xiàn) IR-300 系列可實(shí)時(shí)測量和報告前驅體濃度，為用戶(hù)提供以下優(yōu)勢：
- 優(yōu)化過(guò)程控制以生產(chǎn)更多高檔設備
- 提高設備產(chǎn)量并減少廢品
- 提高重現性
- 了解何時(shí)需要更換起泡器
- 擴展 MTTA
- 減少計劃外干預
- 減少有價(jià)值的前驅體浪費
- 實(shí)時(shí)監測
快速響應和出色的可重復性允許實(shí)時(shí)跟蹤蒸汽濃度的變化 - 多重校準曲線(xiàn)功能（可選）
允許測量多達 3 種化學(xué)品或范圍的濃度 - 多顯示功能
IR-300 裝置頂部的多顯示功能為用戶(hù)提供了濃度監測和前驅體供應管線(xiàn)狀態(tài)的現場(chǎng)檢查功能 - 通信功能
通過(guò) DeviceNet?、RS485 和模擬通信進(jìn)行連接 - 簡(jiǎn)單、緊湊的設計
該裝置的面對面尺寸為 124 mm，其緊湊且無(wú)安裝方向的設計使其易于集成
高光強度和長(cháng)壽命光源與高速信號處理相結合，使 IR-300 系列能夠對母離子濃度的變化實(shí)現更快、更可重復的響應。這些功能通過(guò)實(shí)時(shí)在線(xiàn)濃度測量使用戶(hù)能夠真正了解實(shí)際過(guò)程。
MOCVD 前驅體的測量示例
■實(shí)驗流程圖
■前驅體濃度變化的監測
下面是一個(gè)示例，其中實(shí)時(shí)監測所提供前驅體的濃度（由于背壓調節器調整起泡器中的壓力而發(fā)生變化）。
測量技術(shù)
可靠、高性能
的非色散紅外吸收測定法 （NDIR）
IR-300 系列采用的紅外吸收測定法采用測量氣體分子在紅外光源發(fā)出的紅外光中的吸收的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無(wú)吸光度的參考輸出進(jìn)行比較，并將結果轉換為氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長(cháng)期、穩定的測量結果。
光學(xué)系統由光源、氣體室和雙光束探測器組成。雙光束探測器的穩定性已經(jīng)經(jīng)過(guò) 40 多年的驗證。
