IR-400

用于腔室清潔終點(diǎn)監測的高級型氣體監測儀

IR-400 可在沉積過(guò)程中實(shí)時(shí)監控腔室清潔終點(diǎn)。通過(guò)優(yōu)化清潔過(guò)程，IR-400 減少了清潔時(shí)間和氣體使用量。清潔氣體使用量的減少減少了腔室損壞，并延長(cháng)了所有系統組件的使用壽命。

• 多氣體監測（支持的 SiF4和 CF4） （IR-422）
• 高靈敏度
• 氣室加熱功能高達 180 decC
• 多顯示器
• 模擬/數字通信。

使用 IR-400 進(jìn)行實(shí)時(shí)終點(diǎn)監測的優(yōu)勢

• 減少腔室清潔時(shí)間
• 減少清潔氣體的使用
• 可重復且可預測的清潔過(guò)程
• 腔室組件的使用壽命更長(cháng)

應用示例

• 監測室排氣管

測量技術(shù)

可靠、高性能
的非色散紅外吸收測定法 （NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收測定法利用了氣體分子吸收紅外光源發(fā)出的紅外光的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無(wú)吸光度的參考輸出進(jìn)行比較，并將結果轉換為氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長(cháng)期、穩定的測量結果。

光學(xué)系統由光源、氣體室和雙光束探測器組成。雙光束探測器的穩定性已經(jīng)經(jīng)過(guò) 40 多年的驗證。